激光光刻防蚀技术

     这一技术在民用领域使用较多，特别是对于那些平面金属零件上的凹陷图文蚀刻，制作防蚀层是很方便的，但这～技术不宜用于制作图文凸起的防蚀层加工。其制作方法如下：
    (1)表面涂覆防蚀剂：经脱脂干燥后的零件，采用喷涂或浸涂的方式在零件表面均匀涂上一层防蚀材料，这一步和刻划法基本相同，只是激光光刻法不需要很厚的防蚀层，厚度在0.05mm左右为宜。涂好防蚀层的零件经干燥后，即可用激光光刻机雕刻图文。
    (2)激光雕刻防蚀层图文：需要雕刻的图文经专用程序设计好后，输人激光光刻机，将零件在光刻机上定位，然后即可开始进行雕刻。这一方法的关键技术是对激光光刻机的熟练操作和图文文件的设计。