防蚀层厚度和图文精度的关系

      一定厚度的防蚀层对电镀和蚀刻加工非常重要，防蚀层厚度与抗蚀性、抗电镀性及电镀层边缘的平直性能成正比关系。越厚的抗蚀层，具有更高抗腐蚀剂强度的能力和抗电镀能力，同时也可以在较厚的镀层范围内保持镀层边缘的平直。但也不是防蚀层越厚越好，因为过厚的防蚀层其内部光聚合程度并不完全，在其内部还存在相当量的聚合不完全甚至还有末聚合的感光材料，这就使中间的防蚀材料处于一种不稳定状态，在蚀刻或电镀过程中反而容易产生脱落、起层等故障。
    防蚀层的厚度和解像度成反比，防蚀层越厚其解像度越低。所以防蚀层厚度的选择主要根据腐蚀剂的性质及蚀刻强度、工作温度、时间、压力、加工零件或图文精度这几方面来考虑。
    某一确定的防蚀层厚度，只能达到一定程度的影像清晰度，而影像清晰度将直接影响到零件的加工精度或图文蚀刻精度。其理由：①如果被保护的图文线条比防蚀层的厚度还细，则图像会消失；②如果光敏防蚀层太厚，则其边缘将会给影像造成阴影，因而使影像模糊不清。
    据20世纪80年代柯达克的一项用十化学蚀刻的专用光敏防蚀层的技术资料介绍，其防蚀层厚度与解像清晰度的关系如下：当防蚀层厚度为O.4um时，影像解像度为1um；当防蚀层厚度为5um时，影像解像清晰度为125um.随着技术的发展，防蚀层厚度和解像精度的关系已远远超过这个范围。现在市场卜通用的光敏防蚀剂，10um左右的厚度就能达50um左右的解像度。
    对于普通工业蚀刻工程上所使用的防蚀材料(最小蚀刻精度大于llum)，过低的防蚀层厚度并不能抵抗通用腐蚀剂的蚀刻强度，所以过薄的防蚀层虽然增加了解像度但防蚀能力减弱。在一定厚度防蚀层的条件下，耍提高其解像度和防蚀性能，必须使用感光度更加灵敏的感光剂，防蚀性能更好的感光材料，温度低且光能量密度更高的曝光光源。前两者需要材料的技术革命，后者需要设备的技术革命。