烘烤时间和韫度，不同型号的液体光致抗蚀剂有不同的要求，可参照其相应的产品说明书和具体生产实践来决定。烘烤方式分烘道式和烘箱式两种，使用烘箱时，烘箱一定要带有鼓风装置和恒温控制，以使各部分烘烤温度均匀。烘烤时间应在烘箱达到设定温度时开始计算。控制好烘烤温度和时间非常重要，烘烤温度过高或过长，都会使膜层发生部分热聚合，增加显影和去膜的难度。烘烤时间过短或温度过低，在曝光时，底版容易粘附在感光膜卜，揭下底片时底版容易受到损伤。
