液体光致抗蚀剂的工艺流程-涂覆

      液体光致抗蚀剂主要采用丝网印刷方式进行涂覆。使用不同网目的丝网可得到不同厚度的膜层,如用200目的丝网,丝网印刷后的膜层厚度为(12±2)um;选用100目一150目的丝网,丝网印刷后的膜层厚度为(2s±2)um。如用于蚀刻町用200日的丝网进行丝网印刷,如用于图形电镀可用100目一150目的丝网进行丝网印刷。
    进行丝网涂覆时不要在全板上都进行涂覆,应比每边小5mm~8mm的范围内进行涂覆,这样有利于底片定位时用胶带粘贴固定。如底片粘贴在膜层上,经使用几次后,会使胶带的黏性下降.容易在曝光抽真空时发生底片位移。
    涂覆后的板子必须上架,而且板与板之间要有一定间距.以保证下步烘烤中干燥均匀、彻底。
    涂覆方式除了采用丝网印刷方法外,还可采用幕帘涂覆、辊涂或喷涂等方式进行。辊涂适用于大批量生产或卷材的涂覆。
    在非线路板生产的金属基材涂覆中除可用丝网印刷涂覆外,还有一种手工方法使用得很普遍。就是将金属薄片简单地浸人防蚀剂中,然后再取出挂起来干燥。这种方法很简单,并且不需要任何设备,但是它具有使膜层厚度形成锥形的缺点,即上薄下厚。要克服这一点也并不困难,只需把薄板倒转180。,再进行第二次缦涂即可。但是这种方不可获得很薄的膜层.而薄的膜层对于精细图文程有必要。要想获得非常薄而厚度又均匀的膜层,必须采用一种可控制的提升方法与相应的设备。这种可控升降机,将零件沉浸到盛有光致感光剂的容器中,停留几秒,然后以恒定的速度向上提升,提升速度越慢,所获得的膜层就越薄,其厚度也越均匀