蚀刻贴膜

      贴膜时，先从膜上剥下聚乙烯薄膜，然后在加热加压的条件下将干膜光致抗蚀层粘贴在铜箔面。干膜中的光致抗蚀层受热后变软，流动性增加，借助于热压辊的压力和光致抗蚀层中胶黏剂的作用完成贴膜过程。
      贴膜过程通常都是在贴膜机上完成，贴膜机的型号很多，但基本结构大致相同，贴膜机结掏示意图如图3 -3所示。
     贴膜可连续贴也可吼单张贴。连续贴膜时，要注意在上、下干膜送料辊上装干膜时要对齐。单张贴时，膜的尺寸不可大于板画，以防止抗蚀剂牯到热压辊上

    连续贴膜生产效率高，适合于大批量!L产；小批量生产可采用单张贴膜法，以减少十膜的浪赀。
    水管足连续贴还是单张贴在贴膜时都要掌握好贴膜压力、贴膜温度及贴膜传送速度三个要素。
    (1)压力：新安装的贴膜机，苗先耍将r下两热乐辊调至轴向平行，然后采用逐渐加大压力的办法进行压力调市。压力大小根据基板厚度诵到使干膜易贴、贴牢、不出皱折为度，线乐力以0．5k昏／cm～0．6kg／cm宜。压力调整好后就可固定使用，不需经常调节。
    (2)温度：根据干膜的类型、性能、环境温度和湿度的小同而略有不同。膜层较干，环境温度低，湿度小时，贴膜温度要高些，反之则低些。贴膜温度过高，—r膜图像变脆，耐蚀刻性和耐镀性能变差，甚至j。发生热聚合．．贴膜温度过低叫，干膜与金属表面粘附不牢，在显影或电镀过程中膜易起层甚至脱落。通常温度控制在80℃～100℃左右。
    (3)传送速度：传送速度与贴膜温度有关，温度高传送速度可快些，温度低则可适当调慢传送速度。通常采用的传送速度为0．9Ⅱ∥mir-一1．8nv，rain。在贴膜过程中，热压辊在要求的传送速度下，难以给基板提供足够的热量，因此需要给贴膜的基板进行预热。即在烘箱中干燥后，稍加冷却即町进行贴膜。完好的贴膜麻是表面平褴，无皱折，无气泡，无灰尘颗粒等夹杂物。为r保持工艺的稳定性．贴膜后的板子不可立即进行曝光，应经过约ion"lin的冷却恢复后再进行曝光。