蚀刻干膜去膜性能

      曝光后的干膜,经蚀刻或电镀后,可以在强碱溶液中除去。一般采用3%~5%的NaOH溶液,除膜韫度50℃~60℃,以机械喷淋或浸泡方式去除。去膜速度越快越有利于提高生产效率,去膜形式最好是呈片状剥离,剥离下来的碎片通过过滤网除去,这样既有利于延长去膜溶液的使用寿命也可以减少对喷嘴的堵塞。经聚合后的干膜用乙醇和丙酮也能很好去除,这对于铝合金表面光致抗蚀膜的去除非常有利,因为铝是两性金属如果用强碱去膜会对铝表面产生腐蚀,影响美观。
    干膜技术要求规定:在3%~5%的NaOH溶液中,湿度50℃~70℃,一级指标去膜时间为30s一75s,二级指标去膜时间为60s~150s,去膜后表面无残胶。