分辨率是指在1mm的距离内，十膜抗蚀剂所能形成的线条(或间距)的条数，分辨率也可以用线(或间距)的绝对尺寸的大小来表示，分辨率也可称为解像度。干膜的分辨率与抗蚀膜的厚度有关，抗蚀膜层越厚，分辨率越低。光线透过照相底版和聚酯薄膜对干膜曝光时，由于聚酯薄膜对光线的散射作用，使光线侧射，因而降低了干膜的分辨率，聚酯薄膜越厚，光线侧射越严重，分辨率越低。普通于膜的技术要求规定，能分辨的最小平均线条宽度，一级指标≤100µm，二级指标≤150µm。
