干膜的感光性

    感光性包括感光速度、曝光时间宽窬度和深度曝光特性等指标。
    (I)感光速度：感光速度是指光致抗蚀剂在紫外光照射下，光聚合单体产生聚合反应，形成具有一定抗蚀能力的聚合物，所需要的光能量的多少。在光源强度及灯距固定的情况下，感光速度表现为曝光时间的长短，曝光时间短，即为感光速度快。从提高生产效率和保证图文精度来考虑希望干膜的感光速度越快越好。
    (2)曝光宽容度：最大曝光时间与最短曝光时问之比称为曝光时间宽容度。干膜曝光～段时间后，经显影，光致抗蚀层已全部或大部聚合，并具有技术条件所要求的抗蚀性能，该时间称为最短曝光时间或称为最小曝光量。将曝光时间继续延长，使光致抗蚀剂聚合得更彻底，且能正常显影，显影后的得到的图文尺寸仍与照相底版尺寸相符，显影后的抗蚀层满足技术条件要求的抗蚀性能及附着性能，该时间称为最大曝光时间或最大曝光
最。通常干膜的最佳曝光时间选择在最短曝光时问和最大曝光时间之间，干膜产品说明书都有一参考曝光时间，根据这一参数经过多次实验很容易得最佳曝光时间。
    (3)深度曝光特性：干膜的深度曝光特性很重要，曝光时，光能量因通过光致抗蚀层和散射效应而减少。若光致抗蚀层对光的透过率不好，在光致抗蚀层较厚时，会造成上层曝光量合适。下层就可能不发生聚合反应，使显影后光致抗蚀层边缘不整齐，影响图文的精度和分辨率，严重时抗蚀层容易发生起翘和脱落现象。在这种情况下，为使下层能完全聚合，必须加大曝光量也就是延长曝光时问，上层就可能曝光过度。因此深度曝光特性的好坏是衡量干膜感光质量的一项重要指标。
    (4)深度曝光系数：第饮响应时间的光密度和饱和光密度的比值称为深度曝光系数，此系数的测量方法是将—干膜贴在透明的有机玻璃上，采用透射密度计测量光密度。深度曝光系数的测试比较复杂，且干膜贴在有机玻璃板上与贴在金属板上的情况也不相同。所以为简便测量及符合实际情况，以干膜的最短曝光时问为基准来衡量深度曝光性，其测量方法是将干膜贴在金属板上后，按最小曝光时问缩小一定倍数曝光并显影，再检查金属板表面上的干膜有无响应。
    在使用5kw高压汞灯，灯距650mm，曝光表面温度(25±5)℃的条件下，干膜的感光性能应符合表3-7的要求。