质最好的光致抗蚀干膜必须无气泡、颗粒、杂质厚度均匀，颜色一致。如果干膜存在上述要求巾的质量缺陷，就会增加图像转移后的修版量，严重时甚至不能使用。干膜的外观技术指标见表3-5。
表3-5巾所列指标缺陷是对于普通干膜的基本要求，随着生产技术的不断提高，现在生产的高质量干膜，外观几乎没有任何缺陷。
