干膜光致抗蚀膜的厚度

  在产品说明书上都会标出光致抗蚀膜层的厚度(注意是光致抗蚀膜层的厚度,而不是包括聚酯膜和聚乙烯膜的整个干膜厚度),可根据不同的需要选择不同厚度的感光膜。精细强文可选用光致抗蚀层厚度为25um的下膜;图形电镀可选用光致抗蚀层厚度为38µm的干膜;需要进行遮避的孔或需要长时间蚀刻的场合,可选择光致抗蚀层厚度为50µm的干膜。干膜厚度的尺寸公差技术要求见表3—6。