干膜光致抗蚀膜的结构

  干膜光致抗蚀膜由聚酯薄膜、光致抗蚀膜及聚乙烯保护膜三部分组成，如图3一11所示。
   
    聚酯薄膜足支撵感光胶层的载体，使之涂布成膜，厚度通常为25µm左右，聚酯薄膜在曝光之后显影之前除去。聚酯膜能防止曝光时氧气向抗蚀剂层扩散，破坏游离基，引起感光度下降。
    聚乙烯薄膜是覆盖在感光胶层上的保护膜，其日的是为了防止灰尘等污物粘污—干膜：避免在卷膜时，抗蚀剂层之问相互粘连。聚乙烯膜厚度约为25µm。
    光敛抗蚀剂膜为干膜的主体部分，常用的都为负性感光材料，其厚度视用途不同而异，从十几个微米至一百微米不等；通常情况下，感光胶膜越薄，膜层的解像度越高．但膜层的抗化学药品性能及物理性能降低；
    感光胶层主要由光聚合单体及光引发剂组成。光聚合单体是光致抗蚀剂胶膜的主要成分，在光引发剂的存在下，鲣紫外光照射发生聚合反应，生成体型聚合物。经感光的部分不溶于显影剂，而未感光的部分能很好地溶解在显影剂中而被除去，从而形成抗蚀图像    感光单体廊用最多的足，多元醇丙烯酸酯类及甲基丙烯酸酯类。如季戊四醇三丙烯酸酯等。光引发剂在紫外光照射下，吸收紫外光的能量产生游离基，游离基进一步引发光聚合单体交联成为聚合物。
    干膜光致抗蚀剂通常使用的光引发剂是安息香迷、叔丁基蒽醌等迷键有机化合物。在感光胶体层中除了卜述光聚合单体和光引发剂外还有胶黏剂、增塑剂、增黏剂、色料、溶剂和热阻聚剂等辅助材料。在这些材料中，胶黏剂是使感光胶各组分粘接成膜，起抗蚀剂的骨架作用，胶黏剂在光聚合过程巾不参与化学反应；增塑剂可增加千膜抗蚀剂的均匀性和柔韧性，三乙二醇双醋酸脂常作为增塑剂使用；增黏剂可增加光致抗蚀剂与金属表面的化学结合力，防止因粘接不牢引起胶膜脱落及胶膜边缘起翘等．常用的增黏剂为苯并三氮唑；添加色料的目的在于使干膜呈现鲜艳的颜色，便于修版和检查，孔雀石绿、苏丹兰等常作为色料添加；溶荆用于溶解感光胶体中的各种组分，通常采用丙酮、乙醇作溶剂；热阻聚剂是为了防止干膜在生产或储藏时因吸收热能而发生聚合的一种添加物质，如甲氧基酚、对苯二酚等。