蚀刻液氢氟酸(HF)

    将干燥后的萤石粉和H2SO4按配比1(1.2～l.3)混台，送入回转式反应炉内进行反应．炉内气相温度控制在(280±10)℃。反应后的气体进入粗馏塔，除_去大部分H2SO4、水分和萤石粉，塔釜温度控制在100℃～110℃，塔顶温度为35℃～40℃。粗HF气体再经脱气塔冷凝为液态，塔釜温度控制在20℃一23℃，塔顶温度控制在(-8±1)℃。然后进入精馏塔精馏，塔釜温度控制在30℃-40℃，塔顶温度控制在(19.6±0.5)℃。精馏后的
HF气体用水吸收，即得氢氟酸产品，其反应式如下：
    CaF2十H2S04=HF+CaS04   
    氢氟酸为无色澄清的发烟液体，有刺激性气味，为中等强度的酸。腐蚀性极强，极易挥发．置于空气中即发白烟。
    氢氟酸对金属的腐蚀性极强，通常表现为严重的均匀腐蚀，生成可溶性的氟化物，只有少数金属在室温下能生成较难溶的氟化物。
    氯氟酸主要用来对钛及合金及难溶高合金钢的化学腐蚀。是钛及半导体加工中硅晶片的唯一腐蚀剂。但如单独用氢氟酸对钛合金进行腐蚀加工，会使钛合金吸收大_量的氢而产生不可逆转的氢脆，所以在实际应用中，都是和HNO3、Cr03等氧化性酸配合使用。
    6HF+Ti—H2nF^十2H2f    (4 71)
    3Ti+30HF+4CrO3==3H2TiF6+4crn十12H20
    Ti+6HF+4HN03一H 2nR十一CN02十41t20
氖氟酸和HNO，配合也用于铸造铝合金的酸洗