这种蚀刻剂的基本组成是过氧化氢和硫酸，为改善蚀刻性能和稳定性，加入相应的稳定剂和催化剂
蚀刻机理它具有很强的氧化性，使铜氧化为二价铜的氧化物，H2SO4使氧化铜溶解，完成蚀刻过程： H2O2→H2O+[O] Cu+H2SO4→CuSO4+H2O Cu+H2SO4→CuSO4+H2O
总反应式为：Cu+H2O2+HSO4→CuSO2+2H2O
