蚀刻工艺

 

用三氯化铁为蚀刻剂的蚀刻工艺流程如下:
 
 预蚀刻检查→蚀刻→水洗→浸酸处理→水洗→干燥→去除蚀层→热水洗→水冲洗→(刷洗)→干燥→检验