蚀刻退膜线作业规范免费下载
本操作详细的描写了开机前准备工作,开机步骤,首件试做,首件检查,量产,关机程序等操作流程
1 目的
为使生产操作、维护、保养规范,特制定该操作指引。
2 适用范围
本操作指示只适用于单面蚀刻工序生产操作及保养维护。
3 职责
3.1 生产部负责工作指引的实施并做好一切质量记录;
3.2 生产工艺课负责工作指引的编制、解释、修改和监督生产按本指示进行操作。
3.3 生产/设备课负责设备的维修与定期维护;
3.4 QA保证品质,并监督生产按本指示进行操作。
4 流程
4.1工艺原理:通过化学反应形成一定的集成线路。
4.2工艺流程:
入料→蚀刻Ⅰ→蚀刻Ⅱ→清洗Ⅰ→去墨→清洗Ⅱ→清洗Ⅲ→摆动Ⅰ→摆动Ⅱ→摆动Ⅲ→照明→加温Ⅰ→加温Ⅱ→出料。
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