蚀刻的限制性

      光蚀刻优点众多,但也不无缺陷。一般而言,像厚度大于0.1英寸(2mm以上)的大量部件,加工过程将极为耗时。

       部件上能够被蚀刻的最小特征与材料厚度有函数关系,部件特征的最小尺寸一般是材料厚度的1–1.5倍,因此,材料越厚,蚀刻微小特征越难。

       随着材料厚度的增加,蚀刻加工的公差也会随之增大。一般厚度的蚀刻部件上所能获得的最好公差(精度)约为其厚度的±1/5,因此,材料越薄,蚀刻微小部件精度才能越高。